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金刚石砂轮厂家介绍蓝宝石行业加工

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金刚石砂轮厂家介绍蓝宝石行业加工

发布日期:2022-09-17 作者: 点击:

金刚石砂轮厂家介绍蓝宝石行业加工

1、蓝宝石加工流程

1.1衬底蓝宝石片制程

从蓝宝石晶锭到较后的衬底蓝宝石片,主要包括以下步骤:长晶→ 掏棒→ 头尾截断→滚磨→晶棒定向→切片→倒角磨边→粗精研磨→CMP抛光。每较个步骤均需要配备不同的金刚石工具来完成,主要工具有钻头、砂轮、线锯等。

长晶:利用长晶炉生长尺寸大且高品质的单晶蓝宝石晶体;

掏棒:使用蓝宝石钻头(高精度套料钻头)从蓝宝石晶体中掏出蓝宝石晶棒;

滚磨:使用金刚石砂轮(树脂结合剂或金属结合剂)进行晶棒的结晶方向平研、外径研磨,得到的外圆尺寸精度;(19.现在粗磨较般是金属砂轮、精磨是陶瓷砂轮,也有企业用树脂砂轮粗精磨)

定向:在切片机上准确定位蓝宝石晶棒的位置,便于准确切片加工;

切片:使用金刚石线锯将蓝宝石晶棒切成薄薄的晶片;

倒角磨边:采用金属结合剂金刚石砂轮将晶片边缘修整成圆弧状,改善薄片边缘的机械强度;

研磨:去除切片时造成的晶片切割损伤层及改善晶片的平面度。分粗研磨和精研磨,涉及的磨料磨具产品主要有金刚石磨盘、金刚石研磨液、金刚石背面减薄砂轮等;

抛光:改善晶片粗糙度,使其表面达到外延片磊晶更精度,多使用CMP抛光液。

1.2 封装制程

磊晶及封装制程主要包括以下步骤:衬底片→外延片→蒸镀刻蚀→热处理→背面减薄→研磨抛光→划片测试→固晶→打线封装→切割→测试。主要涉及的磨料磨具产品为金刚石超薄划片刀、金刚石背面减薄砂轮、研磨液、抛光液等。

2、部分磨料磨具产品介绍

2.1 金刚石砂轮

金刚石砂轮在蓝宝石、硅片等硬脆材料加工过程中的应用较为广泛,从晶棒的处理到晶片的粗加工进而到精加工等步骤,均要用到不同种类的金刚石砂轮。图2为4种代表砂轮,分别是晶棒滚圆砂轮(图3a)、平面研磨砂轮(图3b)、减薄砂轮(图3c)以及抛光砂轮(图3d)等,金刚石粒度从100#到8000#均有涉及,胎体材料包括金属结合剂、树脂结合剂和陶瓷结合剂。


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